Filmetrics® R50-4PP 四点探针系统和 Filmetrics R50-EC 涡流系统
Filmetrics R50 重磅推出，为 KLA Instruments 测量产品线增添桌上型薄膜电阻和电导率测绘系统。 R50 的功能经过优化升级，可精准测绘金属薄膜的均匀度、表征离子掺杂和注入、测绘薄膜厚度和电阻率，以及以非接触方式测量薄膜厚度。
四点探针（4PP）和涡流（EC）是测量薄膜电阻的两种常用技术。 Filmetrics R50-4PP 和 R50-EC 系统集成了 KLA 领先业界的校准技术，无论采取何种测量手段，准确性都有十足保障。
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