产品描述

F40 薄膜厚度测量仪器包含一个集成式实时摄像机，结合显微镜光学器件，可生成小至 1 微米的膜厚测量光斑，用于测量带图案、弯曲和非均匀样品。

产品功能

• 行业领先的桌上型薄膜测量系统
• 每款系统均配有直观的分析软件
• 训练有素的应用工程师，通过电话、电子邮件和在线工具，提供高效的技术支持
• 系统套件包含集成式光谱仪/光源模块、FILMeasure 软件、带 Cmount 卡口的 MA-Cmount 显微镜适配器、用于背景基线测量的 BG-显微镜、BK7 反射率标准片、TS-Focus-Si)2-4-10000 焦点/厚度标准片等！

应用

• 可在小至 1 微米的光斑上，测量带图案表面和其他材料的薄膜厚度和折射率
• 只需将 Filmetrics F40 连接到显微镜，即可开始使用！

行业

半导体制造

• 光刻胶、氧化物/氮化物、硅和其他半导体薄膜

液晶显示器

• 液晶间隙、聚酰亚胺和氧化铟锡（ITO）

MEMS（微机电系统）

• 光刻胶、硅膜、氧化铝/氧化锌（AlN/ZnO）薄膜滤光片

生物医学

• 聚对二甲苯和聚合物层厚
• 薄膜/气囊壁厚度
• 植入物表面的药物涂层

为测量项目选择合适的 Filmetrics F40 配置。

不同的 F40 仪器的主要区别在于厚度测量范围，而厚度测量范围又取决于仪器的波长范围。

行业举例

集成电路（IC）故障分析

故障分析（FA）技术用于定位 IC 故障及识别故障原因。 KLA Instruments 为您的集成电路分析程序提供相关仪器。

正面层去除：正面层去除工艺是一种IC故障分析应用，需要了解介电质减薄后剩余介电层的厚度。基于显微镜的Filmetrics^® F40的薄膜厚度测量仪是这类 IC 故障分析应用的理想选择。

ITO（氧化铟锡）薄膜厚度

使用精准折射率测量技术，测量 ITO 和其他透明导电氧化膜（TCO）的薄膜厚度。 Filmetrics 工具可以测量液晶层（聚酰亚胺、硬质涂层、液晶和 OLED 层），包括发光层、注入层、缓冲层和封装层。 请参阅我们的应用说明，详细了解测量 ITO 层方面的挑战。

生物医学涂层厚度测量

借助 Filmetrics 工具，单击一下即可测量生物医学领域的涂层厚度，如导管和血管成形术球囊、支架、导丝、针头和其他植入物的涂层厚度。 医疗器械使用专门的涂层来保护设备免受腐蚀，而其他一些涂层则可预防组织创伤、感染甚至是排斥反应等并发症。 另一种常见应用是测量药物输送设备涂层的厚度。 我们的 Filmetrics 工具能快速、可靠地测量厚度，且不会造成破坏，无需对样品进行预处理。

显示器：OLED 测量

有机发光二极管（OLED）应用于多种显示设备，如手机和电视。 OLED显示屏由多种膜层材料组合而成，精准量测它们的厚度信息对表征OLED来说至关重要，对于OLED膜层材料的厚度测量需要用到非接触式测量系统。 我们的 F40-UV 薄膜厚度测量仪器经济实惠、效果可靠，采用非侵入式的测量方法，适用于简单原型设备和全像素化显示屏的测量。 我们的 OLED 测量仪器采用光谱技术，因此还可以检测大气敏感材料中潜在的化学成分变化。 我们还提供 OLED 薄膜样品免费厚度测量体验。

多孔硅薄膜测量

多孔硅广泛用于光学仪器、气体传感器和医疗器械等不同领域。

业界最关注的多孔薄膜测量涉及厚度和孔隙率的测量。 通常在测量孔隙率时会用到重力测量等非破坏性方法，但这些方法的准确度极低。 Filmetrics^® F40 免费附赠独特的分析算法，轻点一下鼠标即可获取多孔硅的层厚、折射率和孔隙率。

半导体工艺薄膜测量

Filmetrics^® 产品线提供全套仪器和系统，可测量任何非金属半导体工艺薄膜的厚度和折射率。

Filmetrics F40 显微镜薄膜厚度测量仪器则适用于小光斑尺寸厚度测量（光斑尺寸小至 1 微米或更低），可直接连接用户显微镜。

与传统的薄膜计量工具相比，我们的专利厚度成像技术更容易设置、参数更少、图案识别功能更强大，相较于传统的膜厚量测工具成本更低。 有独立版和集成版可选。