台阶仪探针

台阶仪探针

我公司提供用于各种探针式台阶仪（轮廓仪）的多种探针，可用于测量台阶高度、台阶高宽深比、粗糙度、样品翘曲和应力。探针针尖的半径从40纳米到50微米不等，这决定了测量的横向分辨率。探针角度从20到100度不等，这决定了所测量特征的最大高宽比。所有探针都采用金刚石制造，以减少磨损和增加其使用寿命。

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