Zeta™-20是一个高度集成的光学轮廓显微镜，可在紧凑、耐用的包装下提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™技术，可同时收集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩色图像。Zeta-20 3D显微镜支持研发和生产环境，具有多模光学器件、易于使用的软件和性价比高等优势。

Profilm3D®和 Profilm3D-200光学轮廓仪经济实惠，是一套非接触式基于白光干涉法的3D表面形貌测量系统。新一代的白光干涉仪拥有新的成像模式，性能和价值得到了大幅提升。Profilm3D系列通过简单、灵活的程式设置测量纳米级至毫米级表面，可进行单次扫描或在多个点位自动测量，来支持研发和生产环境。

Zeta-388光学轮廓仪将Zeta-300系统与机械手臂操作系统、图形识别、自动数据分析和 SECS/GEM相结合，支持生产测量要求。
Zeta™-388提供3D量测和成像功能，与集成防震台和晶圆操作系统结合，可实现全自动测量。该系统采用ZDot™技术，可同时采集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩图像。Zeta-388支持研发和生产环境，具有多模光学器件、易于使用的软件、低拥有成本和SECS/GEM通信。

MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。

Zeta-300 光学轮廓仪基于 Zeta-20 的成熟性能，包括集成式防震以及支持更大的样品尺寸，以满足您的研发和生产要求。
Zeta™-300 可提供 3D 量测和成像功能，与集成式防震台和灵活的配置相结合，可以处理更大的样品。该系统采用 ZDot™ 技术，可同时收集高分辨率 3D 形貌信息和样品表面真彩色图像。Zeta-300 支持研发和生产环境，具有多模光学组件、易于使用的软件和低拥有成本。

Alpha-Step D-300探针式轮廓仪能够测量从纳米级到微米级的2D台阶高度。 D-300还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的高级光学系统。

Tencor P-17探针式轮廓仪支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维（2D）和三维（3D）测量，其扫描范围可达200mm而无需图像拼接。