Zeta-20台阶仪(光学轮廓仪)
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Zeta-20台阶仪(光学轮廓仪)

发布时间: 2021-04-13   |  浏览[ 1229 ]次  

 
 

产品描述

Zeta-20台式光学轮廓仪的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-20也是一种高端显微镜,可用于样品复检或自动缺陷检测。Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能,适用于研发及生产环境。

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主要功能

·   采用ZDotMulti-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛应用

·   可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜

·   ZDot:同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像

·   ZXI:白光干涉测量技术,适用于z向分辨率高的广域测量

·   ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据

·   ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像

·   ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率

·   AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化

·   生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量


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主要应用

·   台阶高度:纳米到毫米级别的3D台阶高度

·   纹理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度

·   外形:3D翘曲和形状

·   应力:2D薄膜应力

·   薄膜厚度:30nm100μm透明薄膜厚度

·   缺陷检测:捕获大于1μm的缺陷

·   缺陷复检:采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置


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工业应用

·   太阳能:光伏太阳能电池

·   半导体和化合物半导体

·   半导体 WLCSP(晶圆级芯片级封装)

·   半导体FOWLP(扇出晶圆级封装)

·   PCB和柔性PCB

·   MEMS(微机电系统)

·   医疗设备和微流体设备

·   数据存储

·   大学,研究实验室和研究所

·   更多信息,请联系我们以满足您的要求


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