Zeta-388 光学轮廓仪
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光学轮廓仪(台阶仪) 返回<<
Zeta-388 光学轮廓仪

发布时间: 2020-01-07   |  浏览[ 536 ]次  

 
 

产品描述

Zeta-388光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。Zeta-388继承了Zeta-300的功能,并增加了晶圆盒至晶圆盒机械臂,可实现全自动测量。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode(多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

Zeta-388的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot测量模式可同时收集高分辨率3D扫描和True Color无限远焦距图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-388也是一款高端显微镜,可用于样品检查或自动缺陷检测。Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能,以及晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送,适用于研发及生产环境。

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主要功能

·        采用ZDotMulti-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应用

·        可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜

·        ZDot:同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像

·        ZXI:白光干涉测量技术,适用于z向分辨率高的广域测量

·        ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据

·        ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像

·        ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率

·        AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化

·        生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量

·        晶圆传送机械臂: 自动加载直径为50mm200mm的不透明(如硅)和透明(如蓝宝石)样品


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主要应用

·        台阶高度:纳米到毫米级别的3D台阶高度

·        纹理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度

·        外形:3D翘曲和形状

·        应力:2D薄膜应力

·        薄膜厚度:30nm100μm透明薄膜厚度

·        缺陷检测:捕获大于1μm的缺陷

·        缺陷复检:采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置


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工业应用

·        LED:发光二极管和PSS(图案化蓝宝石基板)

·        半导体和化合物半导体

·        半导体 WLCSP晶圆级芯片级封装)

·        半导体FOWLP(扇出晶圆级封装)

·        PCB和柔性PCB

·        MEMS(微机电系统)

·        医疗设备和微流体设备

·        更多信息,请与我们联系以满足您的要求


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