P-170台阶仪(探针式轮廓仪)
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P-170台阶仪(探针式轮廓仪)

发布时间: 2021-04-13   |  浏览[ 1344 ]次  

 
 

产品描述

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,将行业领先的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。这样的组合为机械传送臂系统提供了极低的拥有成本,适用于半导体,化合物半导体和相关行业。P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能,程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

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主要功能

·        台阶高度:几纳米至1000μm

·        微力恒力控制0.0350mg

·        样品全直径扫描,无需图像拼接

·        视频500万像素高分辨率彩色摄像机

·        圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

·        软件:简单易用的软件界面

·        生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

·        晶圆机械传送臂:自动加载75mm200mm不透明(例如硅)和透明(例如蓝宝石)样品


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主要应用

·        台阶高度:2D3D台阶高度

·        纹理:2D3D粗糙度和波纹度

·        形状:2D3D翘曲和形状

·        应力:2D3D薄膜应力

·        缺陷复检:2D3D缺陷表面形貌


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工业应用

·        半导体

·        化合物半导体

·        LED发光二极管

·        MEMS微机电系统

·        数据存储

·        汽车

·        更多信息,请与我们联系以满足您的要求

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