表面轮廓仪
北京中海远创材料科技有限公司代理的KLA的探针式轮廓仪和光学轮廓仪提供全面的表面量测功能，以满足工程和研究团体的需求。轮廓仪不仅仅限于台阶高度、纹理和应力分析等方面，还将测量提升到了新的水平。
Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler
Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D台阶高度。它还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。
Alpha-Step® D-600 Stylus Profiler
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D和3D的台阶高度。它还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量。
P-7 Stylus Profiler
P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的卓越测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比比。P-7为几纳米到一毫米的台阶提供高度测量功能，适用于生产和研发环境。
P-17 Stylus Profiler
P-17是业界领先的台式探针式轮廓仪，是40多年的表面量测经验的结晶。P-17能够测量从几纳米到一毫米的台阶高度，适用于生产和研发环境。
P-170 Stylus Profiler
P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将行业领先的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP-260的机械传送臂相结合。这样的组合为机械传送臂系统提供了极高的性价比，并且适用于半导体，化合物半导体和相关行业。
HRP®-260 Stylus Profiler
HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探针式轮廓仪。HRP的性能经过生产验证，能够进行自动化晶圆装卸、可为半导体、化合物半导体、高亮度LED、数据存储和相关行业提供服务。
MicroXAM-800 Optical Profiler
MicroXAM-800 光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪支持相位和垂直扫描干涉测量，可以对纳米级别到毫米级别的特征进行测量。
Zeta-20 Optical Profiler
Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。
Zeta-300 Optical Profiler
Zeta-300光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用集成隔离选项和灵活的配置，可处理尺寸更大的样品。Zeta-300采用ZDot™技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。
Zeta-388 Optical Profiler
Zeta-388光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用集成隔离选项，以及用于全自动测量的盒带装卸。Zeta-388采用ZDot™技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。
