KLA全系列表面轮廓仪(台阶仪)产品概述
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KLA全系列表面轮廓仪(台阶仪)产品概述

发布时间: 2020-01-07   |  浏览[ 314 ]次  

表面轮廓仪

北京中海远创材料科技有限公司代理的KLA的探针式轮廓仪和光学轮廓仪提供全面的表面量测功能,以满足工程和研究团体的需求。轮廓仪不仅仅限于台阶高度、纹理和应力分析等方面,还将测量提升到了新的水平。

Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D台阶高度。它还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。

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Alpha-Step® D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D和3D的台阶高度。它还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量。

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P-7 Stylus Profiler

P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比比。P-7为几纳米到一毫米的台阶提供高度测量功能,适用于生产和研发环境。

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P-17 Stylus Profiler

P-17是业界领先的台式探针式轮廓仪,是40多年的表面量测经验的结晶。P-17能够测量从几纳米到一毫米的台阶高度,适用于生产和研发环境。

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P-170 Stylus Profiler

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,将行业领先的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP-260的机械传送臂相结合。这样的组合为机械传送臂系统提供了极高的性价比,并且适用于半导体,化合物半导体和相关行业。

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HRP®-260 Stylus Profiler

HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探针式轮廓仪。HRP的性能经过生产验证,能够进行自动化晶圆装卸、可为半导体、化合物半导体、高亮度LED、数据存储和相关行业提供服务。

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MicroXAM-800 Optical Profiler

MicroXAM-800 光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪支持相位和垂直扫描干涉测量,可以对纳米级别到毫米级别的特征进行测量。

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Zeta-20 Optical Profiler

Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode (多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

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Zeta-300 Optical Profiler

Zeta-300光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用集成隔离选项和灵活的配置,可处理尺寸更大的样品。Zeta-300采用ZDot™技术和Multi-Mode (多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

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Zeta-388 Optical Profiler

Zeta-388光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用集成隔离选项,以及用于全自动测量的盒带装卸。Zeta-388采用ZDot™技术和Multi-Mode (多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

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